태경케미칼 - 2024년 2Q 대산공장 초고순도 탄산플랜트 완공.. 반도체 세정. EUV 시장진출
EUV 노광공정용 광원 필소소재 - 탄산가스 (순도 99.9995% 이상 )
탄산가스는 반도체 세정용이나. 고순도의경우 ArF 이머전공정에사용 ( 탄산가스 마진율 40%이상)
포스코홀딩스, 반도체용 희귀가스 생산… 中 중타이와 맞손
포스코홀딩스(POSCO홀딩스(492,500원 ▲ 19,000 4.01%))는 지난 22일 중국 중타이 크라이어제닉 테크놀로지(중타이)와 고순도 희귀가스 생산을 위한 합작 계약을 체결했다고 27일 밝혔다.
고순도 희귀가스는 주로 반도체, 디스플레이, 인공위성 추진체 등 첨단 산업에 사용되는 순도 99.999%의 네온(Ne), 제논(Xe), 크립톤(Kr) 가스를 말한다